Gamme de voyage
20mm
Résolution
0,125 μm
Répétabilité
＜1μm
Rectitude
＜2μm
Parallélisme
＜5μm
Lancement
dix"（50 μrad）
bâillement
Vitesse maximum
5mm/seconde
Capacité de chargement
10 kg
Poids
1,5 kg
